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日期: 2026-05-17 | 来源: 钛媒体 | 有0人参与评论 | 字体: 小 中 大
此外是双工件台？简单说，就是光刻机里托着硅片来回跑的那个平台。一个载底片，一个载胶片。它的定位精度要求达到纳米级。
“相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。”
另外像是芯片上用的复合材料，光刻胶，高纯度化学品也多数都是日本专利。
ASML不是传统意义上的制造企业，更像芯片行业的“链主”，把美国、德国最顶尖的技术攥在手里，再用荷兰人的整合能力，变成一台台印钞机。
原本光刻机零部件供应商也是认钱不认人的，只要你付得起钱，德国供应商不会因为你是中国客户，就不卖给你高精度镜片。日本厂商也愿意把轴承卖给任何客户。
但是，2022年之后，美国搞了实体清单与出口管制后，很多零部件供应商开始自我审查，不敢把关键零部件卖给中国客户。
一个个零部件，中国自己突围封锁链
因此，这就逼着中国不断完善光刻机产业链上的关键零部件，在光源、镜头以及双工台等核心部件上，国产光刻机不断取得进展。
比如长春光机所2023年已经落地国产极紫外光源样机，国望光学的28nm浸润式镜头已经量产，正在攻关EUV级别的光学系统。
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