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日期: 2026-05-17 | 来源: 钛媒体 | 有0人参与评论 | 字体: 小 中 大
很长一段时间，双工件台技术只属于ASML，但全世界第二家掌握双工件台核心技术的公司，是华卓精科。
2026年，它们的磁浮双工件台定位精度达到了1.2纳米。曾经无数人说过"双工件台不可能国产化"，但华卓精科偏偏做到了。
但光刻机10万个零件，大部分不是核心大件，而是真空系统、陶瓷件、泵阀、射频电源这些“小玩意”，以前全靠进口，现在逼着国产厂商一个个突破。
以前射频电源是美国万机、日本大阪真空的地盘。过去国内不是做不出来，是做出来的电源功率不稳定，等离子体忽大忽小，刻出来的沟槽深浅不一。
英杰电气和北方华创的零部件部门，啃了好几年。2025年，国产射频电源在12英寸刻蚀机上跑通了验证，功率稳定性做到了和万机同一个量级。
虽然最顶级的型号还有差距，但成熟制程已经可以完全替代了。
另外是刻机里的陶瓷导轨，这虽然是个小部件，但直接决定了光刻机的精度和稳定性。这个小东西被称为精密设备的"骨骼"，过去长期被美日企业垄断。
2014年，山东淄博，有公司组建了光刻机用氧化铝陶瓷导轨项目组。
第十个年头，研制出了可替代国外同类产品的高纯度氧化铝陶瓷导轨，填补了国内空白。
此外，波长光电、奥普光电，一个做大孔径镜头，一个背靠长春光机所做高端光栅编码器，分辨率2.5nm，90nm、28nm机型都能用。
以前高纯氧化铝、氮化硅、碳化硅陶瓷部件，都是从日本、美国进口的。现在国内有厂商已经做出了12英寸产线上用的碳化硅手臂，开始批量供货。
此外，光刻机还有个小部件叫超高真空阀门，九成都靠瑞士VAT公司供应，别人根本做不出来，因为EUV腔体要抽到大气压的百亿分之一那么低，阀门必须做到一点不漏气、开关速度要快到微秒级别，差一点点整片晶圆就报废了。
沈阳那边悄悄出现一批隐形冠军企业，也已经开始批量交付闸阀和直角阀等产品。
这些企业凭借老工业基地积累与老机床厂传承下来的精密加工技术，军工系统培养的洁净车间管理方法和能力成长起来的，加上中科院多年积累的工程师团队，这三方面力量结合在一起实现了突围。
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