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日期: 2026-07-22 | 來源: ETtoday | 有0人參與評論 | 字體: 小 中 大
19日，山東濱華集團宣布正式開始生產純度達99.9999%的6N級“半導體用高純氫氟化物”，目標是28納米以下的先進工藝，並已建立每年50噸鋼筒充填生產線。 同日，公司宣布推出“超高純度電子級氫氟酸”產品，稱已采用14nm工藝技術向客戶推出，旨在減少對先進半導體材料進口的依賴。
據新浪財經報道，7月19日，北昆項目——賓華集團電子級高純氟化氫氣生產及新產品發布會——舉行。6N級(99.9999%)半導體所用高純氟化氫的壟斷打破了壟斷，為先進國產工藝提供了穩定安全的定位保障，為中國半導體產業和供應鏈築起了堅實的“安全屏障”!
賓華集團特種化學品部總經理劉騰表示，從5N增加到6N不僅僅是對淨化程序的補充，而是壹種全新的淨化系統。 6N意味著純度達到99.9999%，每百萬分子中不超過壹個雜質。
高純度氟化氫主要用於晶圓蝕刻和清洗。其純度和穩定性影響芯片的良率和性能，在中國大陸被稱為“芯片切割機”。 據報道，6N級產品適用於28納米以下的先進工藝。過去，中國長期依賴進口，市場價格超過每噸200萬元人民幣。
賓華集團披露，已采用多重蒸餾耦合系統去除水、贰氧化碳和含氧有機物等雜質，並自主開發密封采樣和高靈敏度檢測方案。已完成50噸年產高純氫氟化物鋼瓶加注管線的建設和測試，並獲得燃氣瓶充填許可。
同日發布的超高純電子級氫氟酸由賓華集團與天津大學聯合開發，主要用於濕法工藝。 賓華集團強調，該產品的性能指標超越了SEMI-G5級，並已采用14納米先進工藝向客戶推送。
▲ 中國大陸半導體關鍵國產材料的新突破。 （照片/截圖來自新浪財）- 新聞來源於其它媒體，內容不代表本站立場！
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